Khi đo độ dài với phương pháp điện tử bằng các đầu dò cảm ứng, điện áp sẽ thay đổi theo sự di chuyển của trục đo trong đầu dò, tạo ra tín hiệu đo và sau khi khuyếch đại tín hiệu này có thể được hiển thị trực tiếp (Hình 1).
■Những lợi điểm của phương pháp đo cảm ứng
- Các đầu dò đo cảm ứng tiếp xúc với chỗ đo bằng cơ học, nhưng các tín hiệu đo được tạo ra không qua chuyển đổi bằng cơ học mà bằng điện tử. Các tín hiệu này được khuyếch đại và hiển thị. Qua đó sự chính xác lặp lại rất cao và khoảng chết rất nhỏ (0,01…0,05 um).
- Độ phân giải cao nhất của trị số đo là 0,01 pm. Kích thước giới hạn của dung sai lớn nhất là 1,9nm (với đầu dò loại thông thường và trị số đo lớn nhất là 2mm).
Các đầu dò đo cảm ứng thích hợp cho các phép đo có độ chính xác cao, thí dụ để hiệu chuẩn cho căn mẫu. Nó còn được dùng làm đầu cảm biến cho trị số đo ở trong các thiết bị đo điện tử khác.
Bên cạnh các phép đo riêng lẻ ta còn có thể kết hợp các tín hiệu đo từ hai đầu dò cho phép đo tổng số hoặc phép đo hiệu số (Bảng 1).
■ Phép đo riêng lẻ (+A hoặc -A)
Mỗi đầu dò riêng lẻ được sử dụng như đồng hồ đo hoặc đồng hồ đo chính xác cho phép đo độ dày, kiểm tra độ tròn hoặc độ đảo. ở độ phân cực dương, khi trục đo đi vào sẽ cho hiển thị dương với chỉ báo lớn dần. Độ phân cực âm có tác dụng là khi lỗ khoan lớn hơn thl trị sổ đo cũng lớn hơn.
■ Phép đo tổng số (+A +B)
ở phép đo tổng số thì độ phân cực của hai đầu dò giống nhau. Tổng số của hai tín hiệu đo sẽ được hiển thị.Trị số đo ở chức năng đo này không bị ảnh hưởng bởi sai số về hình dạng, tư thế hoặc độ đảo.
■ Phép đo hiệu số (+A -B)
Độ phân cực của các đầu dò đối nhau, có nghĩa là sự hiển thị chỉ thay đổi khi hiệu số của các tín hiệu thay đổi so với tín hiệu lúc chỉnh “không” (bảng 1, hình 1 và hình 2). Được hiển thị thí dụ như sai số của kích thước bậc, độ dốc của hình nón, góc phẳng hoặc sự đóng trục, độc lập với các kích thước hoặc vị trí cùa các chi tiết gia công khác.
